分析元素范围：4号铍(Be)-92号铀(U)
分析特点：微区域和表面分析一般采用电镜组合；主要用于元素定性和半定量分析，可实现全元素扫描，检测限制高；元素表面、线、点分布分析。
等离子体发射光谱(ICP-OES)
原理:样品由载气(氩)带入雾化系统雾化，以气溶胶形式进入等离子体轴向通道，在高温和惰性气氛中充分蒸发、原子化、电离和刺激，发出所含元素的特征谱线。根据特征谱线的存在，确定样品中是否含有某些元素(定性分析)，并根据特征谱线的强度确定样品中相应元素的含量(定量分析)。
元素分析范围3号锂(Li)-92号铀(U)
分析特点:主要用于金属元素的微量/痕量分析，不适合卤素、碳氢氧氮等元素的测试；精度高，检出限可达ppm甚至ppb等级；除少量水样液可直接取样外，其他样品一般应预处理，即样品溶解成无机稀酸溶液；可同时测量多元素。
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)
原理：ICP-MS以质谱仪为检测器的等离子体，其进样部分和等离子体ICP-OES它非常相似。ICP-OES光学光谱被测量，ICP-MS测量离子质谱，ICP-MS除了元素含量测定外，还可测量同位素。
元素分析范围：3号锂(Li)-92号铀(U)
分析特点：可分析绝大多数金属元素和一些非金属元素；精度高，检出限可达ppb甚至ppt等级；每个元素都有一个同位元素的谱线，不受其他元素的干扰，多元素测试干扰少；可同时测量多元素；清洁度要求高，易污染。
有机元素分析(EA)
有机元素分析仪在纯氧环境中燃烧相应试剂或在惰性气体中高温裂解，以确定有机物中碳氢氧氮硫的含量。测试通常是CHN模式、CHNS模式和氧模式。
分析元素：碳(C)、氢(H)、氧(O)、氮(N)、硫(S)
分析特点：测试速度快，准确性高；固体和液体样品可以测试，主要适用于有机化合物的测试。